SEM

Bildetekst:SEM Mikroskop fra 1972 som var det første NTNU fikk. Brukt med tillatelse av Jarle Hjelen

SEM står for Scanning Electron Microscopy og bruker elektroner istedenfor lys som kilde. Lys har en bølgelengde på flere tusen Å(10-10) og har derfor en begrensing på oppløsning. Ved å bruke akselererte elektroner med bølgelengde på 0,7Å blir oppløsningen mye bedre og blir anvendelig også for nanomaterialer. SEM funker ved at arealet som skal bli undersøkt blir sveipet over med en tynn elektronstråle. Dette gir opphav i ulike signaler som blir sendt til en detektor for karakterisering. De mest brukte er tilbakespredte elektroner, sekundærelektroner og røntgen. Det er veldig god dybdeskarphet på SEM og derfor virker SEM tredimensjonalt noe som gir kule bilder. Det finnes mange typer av elektronmikroskop, alle med forkortelser STEM, TEM, EPMA. De har litt ulike bruksområder og kostnad, og for karakterisering og manipulering er det ofte viktig å kombinere de ulike mikroskopene.